・适合0603芯片。

 ・响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。

 ・可实现无超调的平滑工件脱离。 

・无需调节真空、正压的切换时点。 

・不需要破坏空气的节流回路。 

・真空过滤器：ZFC050（订制规格）。

 ※真空、破坏单元到工件的距离。